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产品规格主要技术参数：
l 测试面积（即光源尺寸）：100 mm×100mm – 600mm×500mm,可选；
l 应力双折射量程：基本型: 1/4波长（以红光为例：157.5nm）；增强型：2296nm (通过蓝绿光双波长法 测试和解包裹处理)；
l 测试分辨率与精度：以0.8mm厚的钙钠玻璃为例：应力分辨率为 0.2MPa： 应力测试精度：1.0MPa。
双折射分辨率：0.1nm,精度：1.0nm（以软件矫正功能后的数据为准）.
立式光弹仪
用途：测试SiC晶圆、手机膜、显示屏等器件的残余应力
主要技术参数：
l 测试面积（即光源尺寸）：100 mm×100mm – 600mm×500mm,可选；
l 应力双折射量程：基本型: 1/4波长（以红光为例：157.5nm）；增强型：2296nm (通过蓝绿光双波长法 测试和解包裹处理)；
l 测试分辨率与精度：以0.8mm厚的钙钠玻璃为例：应力分辨率为 0.2MPa： 应力测试精度：1.0MPa。
双折射分辨率：0.1nm,精度：1.0nm（以软件矫正功能后的数据为准）.
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