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产品规格
技术指标:
1. 一次检测范围:
最大:ø100mm(仅用于定性无损检测);ø75mm (定量应力检测);
最小:ø 10mm
2. 检测分辨率:
图像分辨率: 500万像素(用于无损检测);125万像素(1224*1024,用于定量应力测试);
空间分辨率: 优于 50微米;
应力双折射分辨率:优于3nm;
3. 检测精度:
应力双折射:优于5nm;
应力:优于1.0MPa (基于0.4mm的硅梁,四点弯曲试验);
4. 全场检测速度:
应力场检测:60s (基于像素偏振相机);
5. 试件平台移动范围:
X轴:大于100mm; Y轴:大于100mm; Z 轴:大于400mm
6. 光源指标:
功率:溴钨灯:150W或1177nm激光:0.5W ;
光斑尺寸:100mm-10mm 连续可调(总功率保持不变)。
晶圆键合检测/应力测试仪
该设备主要用于硅晶圆(最大4'') 的试件键合质量检测(内部隐裂缺陷等)以及整体残余应力场的测试等。
技术指标:
1. 一次检测范围:
最大:ø100mm(仅用于定性无损检测);ø75mm (定量应力检测);
最小:ø 10mm
2. 检测分辨率:
图像分辨率: 500万像素(用于无损检测);125万像素(1224*1024,用于定量应力测试);
空间分辨率: 优于 50微米;
应力双折射分辨率:优于3nm;
3. 检测精度:
应力双折射:优于5nm;
应力:优于1.0MPa (基于0.4mm的硅梁,四点弯曲试验);
4. 全场检测速度:
应力场检测:60s (基于像素偏振相机);
5. 试件平台移动范围:
X轴:大于100mm; Y轴:大于100mm; Z 轴:大于400mm
6. 光源指标:
功率:溴钨灯:150W或1177nm激光:0.5W ;
光斑尺寸:100mm-10mm 连续可调(总功率保持不变)。